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真空機械手PHOENIX-S25系列

直驅電機結構具有更高的真空特性，內部結構沒有齒輪，皮帶等部件，系統運行的平穩性更好，可靠性更高。全新的IO模塊，具有更多的輸出輸入引腳，用戶可以根據需求配置成互鎖，傳感器檢測等功能。輸入信號支硬件中斷功能，方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應用。帶有安全區配置功能和靈敏的碰撞保護功能，減少用戶誤操作導致的各種損失。帶有大屏幕機器人示教器，方便調試人員使用，并支持熱插拔功能。可以根據客戶應用的特殊要求，定制手臂尺寸，Z軸行程，耐高溫耐腐蝕特性等

advantages

產品優勢
  • 安全穩定可靠
    具有性能安全穩定可靠，運行平穩性好等特點
  • 多種優勢
    具有高剛性、高速度、高精度等優勢
  • 作業空間利用率高
    適用于潔凈領域，輕量級設計使其與產線融于一體，作業空間利用率高
  • 技術優越
    其控制技術優越，動作靈活輕巧快捷，操作持久耐用
  • 多種優良特性
    滿足各類柔性化集成和生產等優良特性于一體

Application areas

產品應用領域

parameter

產品參數
  • 晶圓尺寸

    φ200mm

  • 負載重量

    ≤0.5Kg

  • R軸重復定位精度

    ±0.05mm

  • θ軸重復定位精度

    ±0.006°

  • Z軸重復定位精度

    ±0.05mm

  • R軸行程

    ≤703mm

  • T軸行程

    360°

  • Z軸行程

    35mm

  • 真空度

    ＜1×10-7 Torr

  • 漏率

    ＜1×10-9 std.cc/sec He

  • 整機重量

    50kg

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