EFEM是一個晶圓前端傳輸設備，是一個與SEMI標準兼容的界面系統，可以手動或者配合MR或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統提供單線接口供工廠控制，充裕的傳輸間距與工廠交互和簡單的方式供人工服務。占地面積小，采用帶外部軸的雙臂機械手，通過雙軸復合運動實現取放片，極大的提高了傳片效率的同時而又降低了產品維護成本。內部全新的氣體導流結構，保證內部空間潔凈度能夠滿足ISO Class 1級別，保證晶圓傳輸過程的潔凈度。內部帶有多重互鎖保護，從軟件到硬件，多重保證晶圓傳輸過程中的安全，人員與設備的安全。
2100*750*2500mm
≤1100kg
class 1
±0.1mm
±0.2°
≥150
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